CCD系列電動超高真空插板閥
CCD系列電動超高真空插板閥是通過電動裝置驅動閥桿帶動閥板作上下運動,達到閥門的開啟或關閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。
適用的工作介質為為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號裝置。
電動超高真空插板閥主要零件材料:
閥體、閥板:不銹鋼。
密封件:氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠。
電動超高真空插板閥主要技術性能:
適用范圍(Pa)
105~1.3×10-7Pa
閥門漏率(Pa.L/S)
≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)
≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)
適用溫度(℃)
-30~+150℃
閥門開啟時閥板兩側的壓差Pa
≤2.7×103Pa.
電源V/Hz
220V/50Hz
控制電路
標準出廠:AC220V/50Hz開關型
特殊指定:AC380V;DC24V開關型
4~20mA DC調節型
信號反饋
標準出廠:帶無源觸點型
特殊指定:4~20mA DC調節型
電動超高真空插板閥外形及連接尺寸:
型號
DN
A
H
D
Do
D1
D2
D3
L
L1
G
E
n-d
法蘭標準
CCD-50
50
60
92
89
72.4
61.6
55.6
515
153
220
124
8-M8
GB6071
CCD-63
63
65
105
114
92.1
82.6
76.6
566
180
220
124
8-M8
CCD-80
80
65
130
130
110
99
93
603
200
220
124
16-M8
CCD-100
100
70
152
152
130.2
120.7
114.7
653
267
220
124
16-M8
CCD-150
150
70
202
202
181
171.5
165.5
771
350
270
150
20-M8
CCD-200
200
80
251
253
231.8
222.3
216.6
889
424
270
150
24-M8
CCD-250
250
85
300
314
288
308
275
271
1127
574
350
200
24-M10
JB5278
CCD-300
300
85
352
365
338
353
323
318
1197
613
400
200
32-M10
CCD-320
320
85
372
385
357
379
344
340
1220
613
440
200
36-M10
JB5278
CCD-400
400
110
456
497
454
480
440
436
1480
810
536
200
36-M12
CCD-500
500
135
595
590
555
580
540
536
1580
870
640
220
40-M12
CCD-630
630
135
690
700
658
680
639
635
1730
960
780
220
40-M16
CCD-800
800
150
880
890
855
880
835
831
1960
1100
950
220
60-M16