爐體、PECVD爐體
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爐體、PECVD爐體
詳細信息 福潤德爐體可完全代替進口,優質加熱爐絲,進口保溫材料采用國外先進加工工藝,可長期在高溫下處理12英寸以下硅片,工作溫度200—1300℃,延長使用壽命2--3個月,外表溫度比同行業降低30---50℃。
技術指標:
加熱爐絲:瑞典康泰爾高溫爐絲
保溫材料:英國摩根進口保溫層
使用溫度:200℃—1300℃
外 殼:不銹鋼板
控溫段:3段、5段、
口 徑:根據客戶定制
恒溫區:滿足工藝要求
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