GASS立式單腔雙腔甩干機
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GASS立式單腔雙腔甩干機
詳細信息 ??GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備,設備本身有單腔室和雙腔室2種結構,體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。GASS立式甩干機設備特點· 可以快速拆卸更換轉子;· 采用直驅式高性能無刷電機;· 設備正常穩定工作時間≥95%,碎片率低于千分之一;· 顆粒度增加值 <10 (0.3 micron),甩干后表面無水漬、無污染物;· 整機采用進口PFA/PVDF/PTFE管件/噴嘴;· 氣動控制部件采用進口SMC壓力開關/電磁閥;· 電源主空氣開關帶漏電保護;· 當設備出現異常時,按急停按鈕可停機;· 動力條件監測及報警;· 加熱系統超溫保護;· 門禁/擺正監測報警。浙江浙江
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