??GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換轉(zhuǎn)子來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，設(shè)備本身有單腔室和雙腔室2種結(jié)構(gòu)，體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。GASS立式甩干機設(shè)備特點· 可以快速拆卸更換轉(zhuǎn)子；· 采用直驅(qū)式高性能無刷電機；· 設(shè)備正常穩(wěn)定工作時間≥95%，碎片率低于千分之一；· 顆粒度增加值 <10 (0.3 micron)，甩干后表面無水漬、無污染物；· 整機采用進口PFA/PVDF/PTFE管件/噴嘴；· 氣動控制部件采用進口SMC壓力開關(guān)/電磁閥；· 電源主空氣開關(guān)帶漏電保護；· 當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)異常時,按急停按鈕可停機；· 動力條件監(jiān)測及報警；· 加熱系統(tǒng)超溫保護；· 門禁/擺正監(jiān)測報警。浙江浙江