PDMS:聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane) ,這是一種廣泛應用于微流體等領域的聚合物材料。它成本低,使用簡單,同硅片之間具有良好的粘附性,而且具有良好的化學惰性,因此常用于芯片封裝等領域。
液態時的二甲基硅氧烷為一黏稠液體,稱做硅油,是一種具有不同聚合度鏈狀結構的有機硅氧烷混合物,其端基和側基全為烴基(如甲基、乙基、苯基等)。一般的硅油為無色、無味、無毒、不易揮發的液體。
固態的二甲基硅氧烷為一種硅膠,無毒、疏水性(hydrophobic),惰性物質,且為非易燃性、透明彈性體。二甲基硅氧烷的制程簡便且快速,材料成本遠低于硅晶圓,且其透光性良好、生物相容性佳、易與多種材質室溫接合、以及因為低楊氏模量(Young’s modulus)導致的結構高彈性(structural flexibility)等。
液態時的二甲基硅氧烷為一黏稠液體,稱做硅油,是一種具有不同聚合度鏈狀結構的有機硅氧烷混合物,其端基和側基全為烴基(如甲基、乙基、苯基等)。一般的硅油為無色、無味、無毒、不易揮發的液體。
固態的二甲基硅氧烷為一種硅膠,無毒、疏水性(hydrophobic),惰性物質,且為非易燃性、透明彈性體。二甲基硅氧烷的制程簡便且快速,材料成本遠低于硅晶圓,且其透光性良好、生物相容性佳、易與多種材質室溫接合、以及因為低楊氏模量(Young’s modulus)導致的結構高彈性(structural flexibility)等。